As pusvadītājsUn mikroelektronikas tehnoloģijām attīstoties virzienā uz augstāku veiktspēju un integrāciju, tiek izvirzītas augstākas prasības elektronisko speciālo gāzu tīrībai. Augstas tīrības pakāpes gāzes cauruļvadu tehnoloģija ir svarīga augstas tīrības pakāpes gāzes apgādes sistēmas sastāvdaļa. Tā ir galvenā tehnoloģija augstas tīrības pakāpes gāzu piegādei, kas atbilst gāzes lietošanas punktu prasībām, vienlaikus saglabājot kvalificētu kvalitāti.
Augstas tīrības pakāpes cauruļvadu tehnoloģija ietver pareizu sistēmas projektēšanu, cauruļu veidgabalu un palīgmateriālu izvēli, konstrukciju un uzstādīšanu, kā arī testēšanu.
01Gāzes pārvades cauruļvadu vispārīgā koncepcija
Visas augstas tīrības un tīrības pakāpes gāzes ir jātransportē uz gāzes piegādes punktu pa cauruļvadiem. Lai izpildītu gāzes procesa kvalitātes prasības, kad ir noteikts gāzes eksporta indekss, ir jāpievērš lielāka uzmanība cauruļvadu sistēmas materiāla izvēlei un konstrukcijas kvalitātei. Papildus gāzes ražošanas vai attīrīšanas iekārtu precizitātei to lielā mērā ietekmē daudzi cauruļvadu sistēmas faktori. Tāpēc cauruļu izvēlē jāievēro attiecīgie attīrīšanas nozares principi un rasējumos jānorāda cauruļu materiāls.
02Augstas tīrības pakāpes cauruļvadu nozīme gāzes transportēšanā
Augstas tīrības pakāpes cauruļvadu nozīme augstas tīrības pakāpes gāzes transportēšanā Nerūsējošā tērauda kausēšanas procesā katra tonna var absorbēt aptuveni 200 g gāzes. Pēc nerūsējošā tērauda apstrādes uz tā virsmas uzkrājas ne tikai dažādi piesārņotāji, bet arī noteikts gāzes daudzums tiek absorbēts tā metāla režģī. Kad caur cauruļvadu plūst gaisa plūsma, metāla absorbētā gāzes daļa atkal nonāk gaisa plūsmā un piesārņo tīro gāzi.
Kad gaisa plūsma caurulē ir pārtraukta, caurulē uz caurplūstošās gāzes veidojas spiediena adsorbcija. Kad gaisa plūsma apstājas, caurulē adsorbētā gāze veido spiediena samazināšanas analīzi, un analizētā gāze kā piemaisījums nonāk tīrajā gāzē caurulē.
Vienlaikus adsorbcijas un analīzes cikls izraisīs metāla pulvera veidošanos uz caurules iekšējās virsmas. Šīs metāla putekļu daļiņas arī piesārņo tīro gāzi caurulē. Šī caurules īpašība ir ļoti svarīga. Lai nodrošinātu transportētās gāzes tīrību, ir nepieciešams ne tikai ārkārtīgi augsts caurules iekšējās virsmas gludums, bet arī augsta nodilumizturība.
Ja gāzei piemīt spēcīgas korozīvas īpašības, cauruļvadiem jāizmanto korozijizturīgas nerūsējošā tērauda caurules. Pretējā gadījumā korozijas dēļ uz caurules iekšējās virsmas parādīsies korozijas plankumi. Smagos gadījumos lieli metāla gabali var lobīties vai pat caurdurties, tādējādi piesārņojot transportējamo tīro gāzi.
03Cauruļu materiāls
Caurules materiāla izvēlei jābūt atbilstošai lietošanas vajadzībām. Caurules kvalitāti parasti mēra pēc caurules iekšējās virsmas raupjuma. Jo mazāks raupjums, jo mazāka iespēja, ka tajā būs daļiņas. Parasti iedala trīs veidos:
Viens irEP klases 316L caurule, kas ir elektrolītiski pulēts (elektropulēšana). Tas ir izturīgs pret koroziju un tam ir zems virsmas raupjums. Rmax (maksimālais pīķa līdz ielejas augstums) ir aptuveni 0,3 μm vai mazāks. Tam ir visaugstākais līdzenums, un tajā nav viegli veidot mikro virpuļstrāvas. Noņem piesārņotās daļiņas. Procesā izmantotā reakcijas gāze jāpievada caurulēm šajā līmenī.
Viens irBA klase 316Lcaurule, kas apstrādāta ar Bright Anneal un bieži tiek izmantota gāzēm, kas nonāk saskarē ar mikroshēmu, bet nepiedalās procesa reakcijā, piemēram, GN2 un CDA. Viena no tām ir AP caurule (atkvēlināšana un atlasīšana), kas nav īpaši apstrādāta un parasti tiek izmantota dubultiem ārējo cauruļu komplektiem, kas netiek izmantoti kā gāzes padeves līnijas.
04 Cauruļvadu būvniecība
Caurules atveres apstrāde ir viens no šīs būvniecības tehnoloģijas galvenajiem punktiem. Cauruļvada griešana un iepriekšēja izgatavošana tiek veikta tīrā vidē, vienlaikus nodrošinot, ka pirms griešanas uz cauruļvada virsmas nav kaitīgu traipu vai bojājumu. Pirms cauruļvada atvēršanas jāveic sagatavošanās darbi slāpekļa skalošanai cauruļvadā. Principā augstas tīrības un tīrības pakāpes gāzes pārvades un sadales cauruļvadus ar lielu plūsmu savieno metināšana, taču tieša metināšana nav atļauta. Jāizmanto korpusa savienojumi, un izmantotajam cauruļu materiālam metināšanas laikā nedrīkst mainīties struktūra. Ja tiek metināts materiāls ar pārāk augstu oglekļa saturu, metināšanas daļas gaisa caurlaidība izraisīs gāzes iekļūšanu caurules iekšpusē un ārpusē, iznīcinot transportējošās gāzes tīrību, sausumu un tīrību, kas radīs nopietnas sekas un ietekmēs ražošanas kvalitāti.
Rezumējot, augstas tīrības pakāpes gāzes un īpašiem gāzes pārvades cauruļvadiem jāizmanto speciāli apstrādāta augstas tīrības pakāpes nerūsējošā tērauda caurule, kas augstas tīrības pakāpes cauruļvadu sistēmai (ieskaitot cauruļvadus, cauruļu veidgabalus, vārstus, VMB, VMP) ir būtiska nozīme augstas tīrības pakāpes gāzes sadalē.
Publicēšanas laiks: 2024. gada 26. novembris