As pusvadītājsun mikroelektroniskās tehnoloģijas attīstās uz augstāku veiktspēju un augstāku integrāciju, tiek izvirzītas augstākas prasības elektronisko speciālo gāzu tīrībai. Augstas tīrības pakāpes gāzes cauruļvadu tehnoloģija ir svarīga augstas tīrības pakāpes gāzes apgādes sistēmas sastāvdaļa. Tā ir galvenā tehnoloģija augstas tīrības gāzu piegādei, kas atbilst prasībām uz gāzes lietošanas punktiem, vienlaikus saglabājot kvalificētu kvalitāti.
Augstas tīrības pakāpes cauruļvadu tehnoloģija ietver pareizu sistēmas projektēšanu, cauruļu veidgabalu un palīgmateriālu izvēli, būvniecību un uzstādīšanu un testēšanu.
01Gāzes pārvades cauruļvadu vispārīgā koncepcija
Visas augstas tīrības un augstas tīrības gāzes ir jānogādā uz gala gāzes punktu pa cauruļvadiem. Lai izpildītu procesa kvalitātes prasības gāzei, kad gāzes eksporta indekss ir noteikts, vairāk jāpievērš uzmanība materiālu izvēlei un cauruļvadu sistēmas konstrukcijas kvalitātei. Papildus gāzes ražošanas vai attīrīšanas iekārtu precizitātei to lielā mērā ietekmē daudzi cauruļvadu sistēmas faktori. Tāpēc, izvēloties caurules, ir jāievēro attiecīgie attīrīšanas nozares principi un zīmējumos jāatzīmē cauruļu materiāls.
02Augstas tīrības pakāpes cauruļvadu nozīme gāzes transportēšanā
Augstas tīrības pakāpes cauruļvadu nozīme augstas tīrības pakāpes gāzes transportēšanā Nerūsējošā tērauda kausēšanas procesā katra tonna var absorbēt aptuveni 200 g gāzes. Pēc nerūsējošā tērauda apstrādes uz tā virsmas tiek ne tikai iestrēguši dažādi piesārņotāji, bet arī noteikts gāzes daudzums tiek absorbēts tā metāla režģī. Kad caur cauruļvadu plūst gaisa plūsma, metāla absorbētā gāzes daļa atkal nonāks gaisa plūsmā un piesārņos tīro gāzi.
Kad gaisa plūsma caurulē ir pārtraukta, caurule veido spiediena adsorbciju uz gāzi, kas iet cauri. Kad gaisa plūsma pārstāj iet cauri, caurulē adsorbētā gāze veido spiediena samazināšanas analīzi, un analizētā gāze kā piemaisījums nonāk arī tīrā gāzē caurulē.
Tajā pašā laikā adsorbcijas un analīzes cikls liks metālam uz caurules iekšējās virsmas ražot noteiktu pulvera daudzumu. Šī metāla putekļu daļiņa piesārņo arī tīro gāzi caurulē. Šī caurules īpašība ir ļoti svarīga. Lai nodrošinātu transportējamās gāzes tīrību, ir nepieciešams ne tikai, lai caurules iekšējai virsmai būtu ārkārtīgi augsts gludums, bet arī tai jābūt ar augstu nodilumizturību.
Ja gāzei ir spēcīgas korozijas īpašības, cauruļvadiem jāizmanto korozijizturīgas nerūsējošā tērauda caurules. Pretējā gadījumā korozijas dēļ uz caurules iekšējās virsmas parādīsies korozijas plankumi. Smagos gadījumos lieli metāla gabali nolobīsies vai pat perforēsies, tādējādi piesārņojot transportējamo tīro gāzi.
03 Cauruļu materiāls
Caurules materiāla izvēle ir jāizvēlas atbilstoši lietošanas vajadzībām. Caurules kvalitāti parasti mēra pēc caurules iekšējās virsmas raupjuma. Jo mazāks ir nelīdzenums, jo mazāka iespējamība, ka tajā būs daļiņas. Parasti iedala trīs veidos:
Viens irEP klases 316L caurule, kas ir elektrolītiski pulēts (Electro-Polish). Tas ir izturīgs pret koroziju un ar zemu virsmas raupjumu. Rmax (maksimālais augstums līdz ielejai) ir aptuveni 0,3 μm vai mazāks. Tam ir vislielākais līdzenums un nav viegli veidot mikrovirpuļstrāvas. Noņemiet piesārņotās daļiņas. Procesā izmantotā reakcijas gāze ir jāvada šajā līmenī.
Viens ir aBA grāds 316Lcaurule, kas ir apstrādāta ar Bright Anneal un tiek bieži izmantota gāzēm, kas ir saskarē ar mikroshēmu, bet nepiedalās procesa reakcijā, piemēram, GN2 un CDA. Viena no tām ir AP caurule (Annealing & Picking), kas nav īpaši apstrādāta un parasti tiek izmantota dubultiem ārējo cauruļu komplektiem, kurus neizmanto kā gāzes padeves līnijas.
04 Cauruļvadu būvniecība
Caurules mutes apstrāde ir viens no šīs būvniecības tehnoloģijas galvenajiem punktiem. Cauruļvada griešana un sagatavošana tiek veikta tīrā vidē, un tajā pašā laikā tiek nodrošināts, ka pirms griešanas uz cauruļvada virsmas nav kaitīgu pēdu vai bojājumu. Sagatavošanās slāpekļa skalošanai cauruļvadā jāveic pirms cauruļvada atvēršanas. Metināšanu principā izmanto augstas tīrības un augstas tīrības gāzes pārvades un sadales cauruļvadu savienošanai ar lielu plūsmu, taču tiešā metināšana nav pieļaujama. Jāizmanto apvalka savienojumi, un izmantotajam caurules materiālam metināšanas laikā nav jāmaina struktūra. Ja tiek metināts materiāls ar pārāk augstu oglekļa saturu, metināšanas daļas gaisa caurlaidība izraisīs gāzes iekļūšanu caurules iekšpusē un ārpusē, iznīcinot transportējošās gāzes tīrību, sausumu un tīrību, kas radīs nopietnas sekas. un ietekmēt ražošanas kvalitāti.
Rezumējot, augstas tīrības pakāpes gāzes un speciālajiem gāzes pārvades cauruļvadiem ir jāizmanto īpaši apstrādāta augstas tīrības pakāpes nerūsējošā tērauda caurule, kas padara augstas tīrības pakāpes cauruļvadu sistēmu (ieskaitot cauruļvadus, cauruļu veidgabalus, vārstus, VMB, VMP) aizņem svarīga misija augstas tīrības pakāpes gāzes sadalē.
Izsūtīšanas laiks: 2024. gada 26. novembris