1. Lielapjoma gāzes sistēmas definīcija:
Inerto gāzu uzglabāšana un spiediena kontrole Gāzu veidi: Tipiskas inertās gāzes (slāpeklis, argons, saspiests gaiss utt.)
Cauruļvada izmērs: no 1/4 (monitoringa cauruļvads) līdz 12 collu galvenajam cauruļvadam
Sistēmas galvenie produkti ir: diafragmas vārsts/silfonu vārsts/lodveida vārsts, augstas tīrības pakāpes savienotājs (VCR, metināšanas forma), savienotājs ar uzgali, spiediena regulēšanas vārsts, spiediena mērītājs utt.
Pašlaik jaunajā sistēmā ir iekļauta arī lielapjoma speciālās gāzes sistēma, kurā uzglabāšanai un transportēšanai tiek izmantoti stacionāri gāzes baloni vai autocisternas.
2. Attīrīšanas sistēmas definīcija:
Piemaisījumu atdalīšana no beramkravu gāzēm augstas tīrības pakāpes gāzes cauruļvadiem
3. Gāzes skapju definīcija:
Nodrošināt spiediena kontroli un plūsmas uzraudzību īpašiem gāzes avotiem (toksiskām, viegli uzliesmojošām, reaģējošām, kodīgām gāzēm) un iespēju nomainīt gāzes balonus.
Atrašanās vieta: atrodas apakšražotnes stāvā vai apakšējā stāvā īpašu gāzu uzglabāšanai. Avots: NF3, SF6, WF6 utt.
Cauruļvada izmērs: iekšējais gāzes vads, parasti 1/4 collas procesa cauruļvadam, 1/4–3/8 collas galvenokārt augstas tīrības pakāpes slāpekļa attīrīšanas cauruļvadam.
Galvenie produkti: augstas tīrības pakāpes diafragmas vārsti, pretvārsti, spiediena mērītāji, spiediena mērītāji, augstas tīrības pakāpes savienotāji (VCR, metināšanas forma). Šajos gāzes skapjos būtībā ir automātiskas balonu pārslēgšanas iespējas, lai nodrošinātu nepārtrauktu gāzes padevi un drošu balonu nomaiņu.
4. Sadalījuma definīcija:
Gāzes avota pievienošana gāzes savākšanas spolei
Līnijas izmērs: Čipu rūpnīcā beztaras gāzes sadales cauruļvada izmērs parasti svārstās no 1/2 collas līdz 2 collām.
Savienojuma veids: Īpaši gāzes vadi parasti tiek savienoti ar metināšanu, bez mehāniska savienojuma vai citām kustīgām daļām, galvenokārt tāpēc, ka metināšanas savienojumam ir spēcīga blīvējuma uzticamība.
Čipu rūpnīcā gāzes pārvadei ir savienotas simtiem kilometru garas caurules, kas būtībā ir aptuveni 20 pēdas garas un sametinātas kopā. Ļoti bieži ir sastopami arī daži cauruļu līkumi un cauruļu metināšanas savienojumi.
5. Daudzfunkcionāla vārstu kārba (vārstu kolektora kārba, VMB) Definīcija:
Tas ir paredzēts īpašu gāzu sadalei no gāzes avota uz dažādiem iekārtu galiem.
Iekšējais cauruļvada izmērs: 1/4 collas procesa cauruļvads un 1/4–3/8 collas attīrīšanas cauruļvads. Sistēma var izmantot datora vadību, lai pieprasītu darbināmus vārstus vai samazinātu izmaksas, izmantojot manuālos vārstus.
Sistēmas produkti: augstas tīrības pakāpes diafragmas vārsti/silfonu vārsti, pretvārsti, augstas tīrības pakāpes savienojumi (VCR, mikrometināšanas forma), spiediena regulēšanas vārsti, spiediena mērītāji un spiediena mērītāji utt. Dažu inertu gāzu sadalei galvenokārt tiek izmantots vārstu kolektora panelis - VMP (daudzfunkcionāls vārsta disks), kam ir atvērta gāzes diska virsma un nav nepieciešama slēgtas telpas konstrukcija un papildu slāpekļa attīrīšana.
6. Sekundārā vārsta plāksne/kārba (instrumentu pieslēgšanas panelis) Definīcija:
Pievienojiet pusvadītāju iekārtai nepieciešamo gāzi no gāzes avota iekārtas galam un nodrošiniet atbilstošu spiediena regulēšanu. Šis panelis ir gāzes vadības sistēma, kas atrodas tuvāk iekārtas galam nekā VMB (daudzfunkciju vārstu kārba).
Gāzesvada izmērs: 1/4 - 3/8 collas
Šķidruma cauruļvada izmērs: 1/2 - 1 colla
Izplūdes cauruļvada izmērs: 1/2 - 1 colla
Galvenie produkti: diafragmas vārsts/silfonu vārsts, vienvirziena vārsts, spiediena regulēšanas vārsts, spiediena mērītājs, spiediena mērītājs, augstas tīrības pakāpes savienojums (VCR, mikrometināšana), savienotāja savienojums, lodveida vārsts, šļūtene utt.
Publicēšanas laiks: 2024. gada 22. novembris