1. Lielapjoma gāzes sistēmas definīcija:
Inerto gāzu uzglabāšana un spiediena kontrole Gāzu veidi: Tipiskas inertās gāzes (slāpeklis, argons, saspiests gaiss utt.)
Cauruļvada izmērs: no 1/4 (pārraudzības cauruļvads) līdz 12 collu maģistrālajam cauruļvadam
Sistēmas galvenie produkti ir: diafragmas vārsts / silfona vārsts / lodveida vārsts, augstas tīrības pakāpes savienotājs (videomagnetofons, metināšanas forma), uzgalis savienotājs, spiediena regulēšanas vārsts, manometrs utt.
Šobrīd jaunajā sistēmā iekļauta arī beztaras speciālās gāzes sistēma, kuras uzglabāšanai un transportēšanai tiek izmantoti stacionārie gāzes baloni vai autocisternas.
2. Attīrīšanas sistēmas definīcija:
Piemaisījumu noņemšana no lielapjoma gāzēm augstas tīrības pakāpes gāzes cauruļvadiem
3. Gāzes skapju definīcija:
Nodrošiniet spiediena kontroli un plūsmas uzraudzību īpašiem gāzes avotiem (toksiskām, uzliesmojošām, reaktīvām, kodīgām gāzēm) un iespēju nomainīt gāzes balonus.
Atrašanās vieta: atrodas Sub-fab stāvā vai apakšējā stāvā īpašu gāzu uzglabāšanai Avots: NF3, SF6, WF6 utt.
Cauruļvada izmērs: iekšējais gāzes cauruļvads, parasti 1/4 collas procesa cauruļvadam, 1/4-3/8 collas galvenokārt augstas tīrības slāpekļa attīrīšanas cauruļvadam.
Galvenie produkti: Augstas tīrības pakāpes diafragmas vārsti, pretvārsti, spiediena mērītāji, spiediena mērītāji, augstas tīrības savienotāji (videomagnetofons, metināšanas forma) Šie gāzes skapji pamatā satur automātiskas balonu pārslēgšanas iespējas, lai nodrošinātu nepārtrauktu gāzes padevi un drošu balonu nomaiņu.
4. Izplatīšanas definīcija:
Gāzes avota pievienošana gāzes savākšanas spolei
Līnijas izmērs: skaidu rūpnīcā lielapjoma gāzes sadales cauruļvada izmērs parasti svārstās no 1/2 collas līdz 2 collām.
Savienojuma veids: Speciālie gāzes cauruļvadi parasti tiek savienoti ar metināšanu, bez mehāniskiem savienojumiem vai citām kustīgām daļām, galvenokārt tāpēc, ka metināšanas savienojumam ir spēcīga blīvējuma uzticamība.
Mikroshēmu rūpnīcā gāzes pārvadīšanai ir savienotas simtiem kilometru cauruļu, kas būtībā ir aptuveni 20 pēdas garas un sametinātas kopā. Ļoti izplatīti ir arī daži cauruļu līkumi un cauruļveida metināšanas savienojumi.
5. Daudzfunkciju vārstu kārba (Valve Manifold Box, VMB) Definīcija:
Tas ir paredzēts, lai sadalītu īpašas gāzes no gāzes avota uz dažādiem iekārtu galiem.
Iekšējais cauruļvada izmērs: 1/4 collas procesa cauruļvads un 1/4–3/8 collas iztukšošanas cauruļvads. Sistēma var izmantot datora vadību, lai pieprasītu darbināmus vārstus vai zemākas izmaksas ar manuāliem vārstiem.
Sistēmas produkti: augstas tīrības pakāpes diafragmas vārsti/silfonu vārsti, pretvārsti, augstas tīrības šuves (videomagnetofons, mikrometināšanas forma), spiediena regulēšanas vārsti, spiediena mērītāji un manometri utt. Dažu inerto gāzu sadalei vārstu kolektora panelis - Galvenokārt tiek izmantots VMP (multi-function valve disc), kam ir atvērta gāzes diska virsma un kam nav nepieciešams slēgtas telpas dizains un papildus slāpekļa attīrīšana.
6. Sekundārā vārsta plāksne/kārba (instrumentu savienošanas panelis) Definīcija:
Pievienojiet pusvadītāju iekārtai nepieciešamo gāzi no gāzes avota līdz iekārtas galam un nodrošiniet atbilstošu spiediena regulēšanu. Šis panelis ir gāzes vadības sistēma, kas atrodas tuvāk aprīkojuma galam nekā VMB (daudzfunkciju vārstu kārba).
Gāzes cauruļvada izmērs: 1/4 - 3/8 collas
Šķidruma cauruļvada izmērs: 1/2 - 1 colla
Izplūdes cauruļvada izmērs: 1/2 - 1 colla
Galvenie produkti: diafragmas vārsts / silfona vārsts, vienvirziena vārsts, spiediena regulēšanas vārsts, manometrs, manometrs, augstas tīrības pakāpes savienojums (videomagnetofons, mikrometināšana), uzgalis, lodveida vārsts, šļūtene utt.
Izlikšanas laiks: 22. novembris 2024